报告题目：集成电路IC制造在线测量检测技术与装备：现状、挑战、进展

报告人：刘世元杰青/教授

报告时间：2022年04月12日（周二）14:00

报告地点：23-510/腾讯会议ID：202 468 820

报告人简介：

刘世元，华中科技大学机械学院、光电学院双聘教授，博士生导师，华中科技大学集成电路测量装备研究中心主任，湖北光谷实验室集成电路测量检测装备技术创新中心主任；国家杰出青年科学基金获得者，科技部中青年科技创新领军人才；国际测量与仪器委员会委员，中国仪器仪表学会显微仪器分会副理事长。近年来主持了7项国家自然科学基金、首批国家重大科学仪器设备开发专项等项目。获国际国内发明专利80余件，在Opt. Express、Opt. Lett.等期刊发表SCI论文200余篇，重要国际会议做大会/特邀报告50余次。主要研究方向为纳米光学测量技术与仪器、集成电路IC制造量测检测技术与装备、计算光刻成像理论与应用。